PRINCIPLES OF PLASMA PROCESSING Chen F.F., Chang J.P. (Chen F.F., Chang J.P.)
Отличные лекции по физике плазмы с хорошими иллюстрациями. Один из авторов Ф.Ф. Чен хорошо известен среди специалистов по физ. плазмы. Некотрые книги были переведены на русский язык. Данные лекции написаны простым языком, студенты более-менее знающие англ. язык смогут читать без проблем.
-------------------------------------------------------------
Why study plasma processing? Because we can't
get along without computer chips and mobile phones
these days. About half the steps in making a semicon-
ductor circuit require a plasma, and plasma machines ac-
count for most of the equipment cost in a "fab". Design-
ers, engineers, and technicians need to know how a
plasma behaves.
Издатель: Kluwer Publishers
Год издания: 2002
Страниц: 249
Язык: английский
Качество: отличное
комментариев нет