Интеллектуальные развлечения. Интересные иллюзии, логические игры и загадки.

Технология СБИС: В 2-х кн. Кн. 1 (: К.Пирс, Адамс А., Кац Л., Дж.Цай, Сейдел Т., Д.Макгиллис. Под редакцией С.Зи.)

В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС.
В книге 1 рассмотрены вопросы получения монокристаллов кремния, подготовки подложек, выращивания эпитаксиальиых слоев, осаждения пленок различных материалов, термического окисления, диффузии, ионной имплантации, а также литографические методы формирования топологических рисунков с субмикронными размерами элементов.
Для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.

Другие книги по теме:
Второй том

Издатель: М: Мир: Редакция литературы по новой технике

Год издания: 1986

Страниц: 404

Язык: Перевод с английского.

С книгой «Технология СБИС: В 2-х кн. Кн. 1» также читают:

• Электротехника
• Технология машиностроения
• Сборник задач по общему курсу физики. Книга 4. Оптика
• Автомодельные решения задач газовой динамики и теплопереноса
• Сборник коротких задач по теоретической механике