В. Н. Черняев. Физико-химичесие процессы в технологии РЭА (Черняев В.Н.)
автор: Черняев В.Н. категория: Наука и образование
В книге рассматриваются процессы формирования элементов РЭА
описываются основные закономерности процессов на к-рых базируется
технология формирования микроэлектронных структур
Издатель: Высшая Школа
Год издания: 1987
Страниц: 376
Язык: русский
Качество: хор
комментариев нет